אין האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע, ווערט ערוואַרטעט אַז קריאָגענישע פאַרשפּרייטונג סיסטעמען זאָלן טאָן מער ווי נאָר אַריבערפירן פליסיקן שטיקשטאָף אָדער אַרגאָן פֿון איין פּונקט צום אַנדערן. די פליסיקייט מוז בלייבן סטאַביל, ריין און איין-פֿאַזיק ביזן פּונקט פֿון באַניץ. אפילו קליינע מאָסן היץ קענען שאַפֿן בליץ גאַז, דרוק פלוקטואַציע אָדער נעץ קאַנטאַמאַניישאַן וואָס אַפֿעקטירט פּראָצעס פעסטקייט.

דעריבערוואַקוום ינסולאַטעד רערסיסטעמען ווערן געוויינטלעך גענוצט אין האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקן אַנשטאָט קאַנווענשאַנעלע פּינע-איזאָלירטע רערן. ווען קאָמבינירט מיט אַ ריכטיק געראטןדינאַמיש וואַקוום פּאָמפּע סיסטעם, קען די אַלגעמיינע היץ ליק בלייבן אונטער 3 וואט/מ² בשעת מען האַלט די לאַנג-טערמין וואַקוום סטאַביליטעט איבער די גאַנצע טראַנספער ליניע.

פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר אַפּליקאַציעס, זאָל וואַקוום איזאָלאַציע נישט געזען ווערן ווי אַ פּאַסיווע שיכט אַרום די רער. דאָס איז אַן אַקטיווע טערמישע סיסטעם וואָס ריקווייערז מעסטבאַרע וואַקוום פאָרשטעלונג און לאַנג-טערמין וישאַלט. אין הויך-פּרעציציע טשיפּ פאַבריקאַציע סביבות, קען אפילו אַ קליינע פאַרגרעסערונג אין פליסיק זעטיקונג טעמפּעראַטור פירן צו צוויי-פאַזיקע לויפן באדינגונגען וואָס שטערן קאָאָלינג קרייזן, רייניקונג סיסטעמען, אָדער פּראָצעס קאָנטראָל ויסריכט.

פארוואס היץ ליק איז וויכטיג אין קריאגענישע האַלב-קאָנדוקטאָר סיסטעמען

יעדע קריאָגענישע טראַנספער ליניע איז אַפעקטירט דורך דריי ערשטיקע פארמען פון היץ טראַנספער:

• ראַדיאַציע אַריבער דעם רינג-פּלאַץ
• גאז-קאנדוקציע געפֿירט דורך רעשט-מאלעקולן
• פעסטע קאַנדאַקשאַן דורך שטיצעס און ספּייסערז

אין אַ ריכטיק פּלאַנירטןוואַקוום ינסולאַטעד רער, דער רינג-פארמינדער דרוק ווערט טיפיש רעדוצירט אונטער 1×10⁻⁴ פּאַ. ביי יענעם וואַקוום לעוועל, האבן די פארבליבענע גאז מאלעקולן א דורכשניטלעכן פרייען וועג באדייטנד גרעסער ווי דער רינג-פארמינדער שפאלט, וואס רעדוצירט שטארק גאז-פארמינדערונג היץ-קאנדוקציע.

ראַדיאַטיווע היץ טראַנספער ווערט קאָנטראָלירט מיט מערערע שיכטן איזאָלאַציע (MLI). די איזאָלאַציע באַשטייט פון אָלטערנירנדיקע שיכטן פון רעפלעקטיוו פאָליע און נידעריק-קאַנדאַקטיוויטי ספּייסער מאַטעריאַל. מיט דער ריכטיקער שיכט געדיכטקייט און ינסטאַלירונג מעטאָד, קען ראַדיאַטיווע היץ פלוס ווערן רידוסט צו בלויז אַ פּאָר וואטס פּער קוואַדראַט מעטער.

דער איבערבלייבנדיקער טערמישער וועג קומט הויפּטזעכלעך פֿון מעכאַנישע שטיצעס. כּדי צו מינימיזירן דעם עפֿעקט, ווערן טיפּיש געניצט נידעריק-קאַנדאַקטיוויטי מאַטעריאַלן ווי G-10 פֿײַבערגלאַס אָדער טאָרלאָן®. די שטיצעס דאַרפֿן נאָך גענוג מעכאַנישע שטאַרקייט צו טאָלערירן טערמישע קאָנטראַקציע, ווייבריישאַן און סייזמישע לאָודינג בעת אָפּעראַציע.

איבער לאַנגע טראַנספער דיסטאַנצן ווערט דער חילוק צווישן וואַקוום איזאָלאַציע און פּינע איזאָלאַציע זייער באַמערקבאַר. א גוט-געהאַלטענע וואַקוום סיסטעם קען האַלטן אַ סטאַביל טערמישע פאָרשטעלונג פֿאַר פילע יאָרן, בשעת פּינע איזאָלאַציע אַבזאָרבירט ביסלעכווייַז נעץ פֿון דער אַטמאָספֿערע. אַמאָל נעץ גייט אַרײַן אין דער איזאָלאַציע סטרוקטור און פֿאַרפֿרירט, פֿאַרקלענערט זיך די טערמישע עפֿעקטיווקייט געוויינטלעך מיט דער צײַט.

אין פּראַקטישע האַלב-קאָנדוקטאָר LN₂ פאַרשפּרייטונג סיסטעמען,וואַקוום-איזאָלירטע רערןקען באַדייטנד רעדוצירן אָפּקאָכן קאַמפּערד מיט טראַדיציאָנעלע פּינע-איזאָלירטע ליניעס, ספּעציעל אויף לאַנגע דרויסנדיקע רערן אָדער קאַנטיניואַסלי אַפּערייטינג הויפּט כעדערז.

דינאַמיש וואַקוום פּאָמפּע סיסטעם

איין פראבלעם מיט סטאטישע וואקיום רעקלען איז אז די וואקיום קוואַליטעט קען זיך שטייטליך פארערגערן איבער די יארן צוליב אויסגאזן, העליום דורכדרינגונג, אדער מיקראסקאפישע ליקאַדזש.

צו פאַרריכטן דעם, גרויס-דיאַמעטערוואַקוום ינסולאַטעד רערסיסטעמען קענען זיין אויסגעשטאַט מיט אַדינאַמיש וואַקוום פּאָמפּע סיסטעםדי סיסטעם שליסט נאָרמאַלערװײַז אײַן אַ קאָמפּאַקטע טורבאָמאָלעקולאַרע אָדער סקראָלל פּאָמפּע אָרדענונג װאָס פּעריִאָדיש שטעלט צוריק דעם רינגװײַזיקן וואַקוום צו זײַן אָריגינעלן פּלאַן צושטאַנד.

וואַקוום לעוועלס ווערן קאַנטיניואַסלי מאָניטאָרעד ניצן קאַלט-קאַטאָדע גיידזשעס. די פּאָמפּע אַקטיוויזירט בלויז ווען דרוק שטייגט העכער די ציל סעטפּוינט, אַזוי מאַכט קאַנסאַמשאַן און וישאַלט רעקווירעמענץ בלייבן לעפיערעך נידעריק.

אין איין פּראָיעקט פֿאַר פֿאַרבעסערונג פֿון אַ האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריק אין שינטשו, טייוואַן, האָט אַן אַקטיוו געראטן וואַקוום פּאָמפּע סיסטעם דערלויבט אַן אַלטן LN₂ טראַנספֿער כעדער צו צוריקקריגן טערמישע פאָרשטעלונג נאָענט צו זיין אָריגינעלן אָפּערירן צושטאַנד אָן צו פֿאַרמאַכן די פּראָדוקציע ליניע. פֿאַר נייע פּראָיעקטן, גיט אַקטיוו וואַקוום וישאַלט אויך אָפּעראַטאָרן בעסערע בטחון אין לאַנג-טערמין איזאָלאַציע פעסטקייט איבערן גאַנצן לעבן פֿון דער סיסטעם.

מאַטעריאַלן און סיסטעם פּלאַן

פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר און אולטראַ-הויך-ריינקייט אַפּליקאַציעס, איז די אינעווייניקסטע פּראָצעס רער טיפּיש געמאַכט פֿון 304L אָדער 316L ומבאַפלעקט שטאָל. אינעווייניקסטע ייבערפלאַכן ווערן גערייניקט, אויסגעפּוצט און פּאַסיווירט צו טרעפן די זויערשטאָף-רייניקייט סערוויס רעקווייערמענץ און מינימיזירן קאָנטאַמינאַציע ריזיקירן.

די אויסערלעכע מאַנטל קען נוצן געפֿאַרבטן קאַרבאָן שטאָל אָדער ומבאַפלעקט שטאָל לויט דער אינסטאַלאַציע סביבה. אין ריינצימער-נעבן געביטן, זענען ומבאַפלעקט אויסערלעכע מאַנטלען אָפט בילכער צו ויסמיידן קעראָוזשאַן אָדער ייבערפלאַך קאַנטאַמאַניישאַן.

טערמישע קאנטראקציע דארף אויך קערפול באטראכט ווערן. אן LN₂ טראנספער ליניע קען זיך צוזאמענציען בערך 2.5–3 מ״מ פער מעטער צווישן אמביענט טעמפעראטור און אפעראציע טעמפעראטור. כדי צו אבזארבירן די באוועגונג, ווערן בעלאָוז-טיפּ עקספּאַנשאַן קאָמפּענסאַטאָרן געוויינטלעך אינסטאַלירט ביי באַרעכנטע אַנקער לאָקאַציעס איבערן גאַנצן רער נעץ.

וואו באַוועגונג אָדער בייגיקייט איז פארלאנגט,וואַקוום ינסאַלייטיד פלעקסאַבאַל שלאַנגאסעמבליז ווערן אָפט גענוצט. טיפּישע לאָקאַציעס אַרייַננעמען טאַנק קאַנעקשאַנז, ויסריכט כאָוק-אַפּס, מאַניפאָולד צווייגן, און רירעוודיק פּראָצעס סקידז.

די פלעקסיבלע שלאנגען ניצן א געוועלבטע אינעווייניגסטע קערן צוזאמען מיט א וואקיום רעקל און MLI סטרוקטור ענלעך צו א שטרענגע וואקיום רער. ריכטיק דיזיינטע אסעמבליס קענען אויפהאלטן וואקיום אינטעגריטעט נאך איבערגעחזרטע קריאגענישע טערמישע ציקלונגען בשעת אויך פארמיידן עקסטערנע אייז פארמאציע וואס איז געווענליך אויף נישט-איזאלירטע געפלאכטענע שלאנגען.

וואַקוום ינסולירטע ווענטילןאוןפאַזע סעפּאַראַטאָרס

פאַרוואַלטן היץ ליקאַדזש איז נישט לימיטעד צו גלייכע רער סעקשאַנז. ווענטילן אוןפאַזע סעפּאַראַטאָרסאויך שפּילן אַ הויפּט ראָלע אין אויפהאלטן סטאַבילע קריאָגעניק פלוס באדינגונגען.

A וואַקוום ינסולאַטעד וואַלווניצט נאָרמאַלערווייַז אַן אויסגעברייטערטע קאַפּאָטע און אַ וואַקוום-מאַנטלדיקן קערפּער צו האַלטן קריטישע פאַרזיגלטע געביטן אַוועק פון גאָר נידעריקע טעמפּעראַטורן. דאָס העלפֿט פאַרהיטן פרירן אַרום די סטעם פּאַקינג און רעדוצירט אַנוואָנטעד קאָנדענסאַציע אין דער ווענטיל סטרוקטור.

אָן וואַקוום איזאָלאַציע, קענען ווענטילן ווערן קאָנצענטרירטע היץ-ליק פונקטן אין דער סיסטעם. אין פליסיק קריאָגעניק סערוויס, קען דאָס שאַפֿן לאָקאַליזירטע פארע פּאַקאַץ, נישט-סטאַבילע פֿלוס באדינגונגען, אָדער וואַסער האַמער געשעענישן.

פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָצעס סיסטעמען, ווערן עקסטענדעד-באָנעט גלאָוב ווענטילן און שפּיץ-ענטרי באָל ווענטילן געוויינטלעך געניצט אין לויט מיט ASME B31.3 און EN 13480 רעקווירעמענץ.

A וואַקוום ינסאַלייטיד פאַסע סעפּאַראַטאָרווערט גענוצט צו באַזייַטיקן בליץ גאַז איידער פליסיקייט גייט אַרײַן אין סענסיטיווע דאַונסטרים ויסריכט. אין האַלב-קאָנדוקטאָר אַפּלאַקיישאַנז, קען אַן אומסטאַבילע צוויי-פאַזיקע שטראָם שאַפֿן דרוק סווינגס גרויס גענוג צו אַקטיוויירן פּראָצעס אַלאַרמס אָדער ויסריכט ינטערלאָקז.

רובֿ סעפּאַראַטאָר דיזיינז נוצן אַ טאַנגענטשאַל אַרייַנגאַנג צוזאַמען מיט אַן אינערלעכער דעמיסטער סטרוקטור צו פֿאַרבעסערן די עפעקטיווקייט פון פארע-פליסיק סעפּאַראַציע. אין פילע פּראָיעקטן, ווערט דער סעפּאַראַטאָר קאָמבינירט מיט אַ מיני טאַנק אינסטאַלירט לעבן דעם פּראָצעס שטאָק. דער מיני טאַנק אַקט ווי אַ לאָקאַלע באַפער באַנד וואָס העלפֿט סטאַביליזירן קורץ-טערמין פאָדערונג פלוקטואַציעס אָן אײַנפֿירן באַדײַטנדיקע נאָך היץ מאַסע.

האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָיעקט בייַשפּיל

א DRAM פאבריק אויסברייטונג פראיעקט אין דרום קארעע האט פארלאנגט א נייע LN₂ פארשפרייטונג נעץ וואס סערווירט אימערשאַן-געקילטע טעסט עקוויפּמענט און וועיפער פּראַסעסינג מכשירים.

די אינסטאַלאַציע האָט אַרייַנגענומען אַרום 180 מעטער פון אַ שטרענגער וואַקוום-איזאָלירטער רער, פֿאַרבונדן צו קייפל געצייַג-צווייגן דורך וואַקוום-איזאָלירטע פֿלעקסיבלע שלאַנג-אַסעמבליס. אַ וואַקוום-איזאָלירטער פֿאַזע-סעפּאַראַטאָר און אַ 2 קוביק מעטער מיני-טאַנק זענען אינסטאַלירט געוואָרן לעבן דעם גרויסן סטאָרידזש-געגנט.

די דינאַמישע וואַקוום פּאָמפּע סיסטעם האָט געהאַלטן דעם רינג-דרוק אונטער 5×10⁻⁶ מבאַר אויף די הויפּט 6-אינטש טראַנספער ליניעס.

בעתן קאמיסיאָנירן, האט די געמאסטענע היץ-ליק אויפן ערשטיקן קעפל דורכשניטלעך געווען בערך 1.3 וואט/מ² אונטער סטאבעלע אפעראציע באדינגונגען. נאך איין יאר פון אומגעבליכער סערוויס, האבן פעריאדישע וואקיום-אויפלעבונג ציקלען געהאלטן די איזאלאציע-פארשטעלונג נאנט צום ארגינעלן באזיס-צושטאנד.

קאַמפּערד מיט די פריערדיקע פּינע-איזאָלירטע קאָנצעפּט, האָט די מעכירע געמאָלדן באַמערקבאַר נידעריקערע פליסיקע שטיקשטאָף פארלוסטן און פֿאַרבעסערטע אָפּערירן פעסטקייט. פּראָצעס לאָגס האָבן אויך געוויזן קיין נעץ-פֿאַרבונדענע קאָנטאַמינאַציע געשעענישן פֿאַרבונדן מיט איזאָלאַציע דעגראַדאַציע.

אַפּליקאַציעס

וואַקוום-איזאָלירטע קריאָגעניק אַריבערפירן סיסטעמען ווערן וויידלי געניצט אין האַלב-קאָנדוקטאָר מאַנופאַקטורינג, LNG אינפראַסטרוקטור, אינדוסטריעלע גאַז פאַרשפּרייטונג, און פליסיק הידראָגען אַפּלאַקיישאַנז.

כאָטש די אָפּערירן סביבות זענען אַנדערש, בלייבט די אינזשעניריע ציל די זעלבע:

• האַלטן וואַקוום סטאַביליטעט
• מינימיזירן היץ אריינגאנג
• באַוואָרענען פאַזע סטאַביליטעט איבער דעם גאַנצן טראַנספער פּראָצעס

סיסטעם פּלאַן פאָלגט נאָרמאַלערווייַז אינטערנאַציאָנאַלע סטאַנדאַרדן ווי ASME B31.3, EN 13480, און ISO 21029 דיפּענדינג אויף פּראָיעקט פאַרנעם און רעגיאָנאַלע באדערפענישן.

פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר פאַסילאַטיז, די פאָרשטעלונג פון די קריאָגעניק פאַרשפּרייטונג סיסטעם אַפעקטירט גלייך די אָפּערייטינג עפעקטיווקייט, פליסיק קאַנסאַמשאַן, און לאַנג-טערמין פּראָצעס רילייאַבילאַטי. צוליב דעם, זאָלן רערן, ווענטילן, סעפּאַראַטאָרס, און וואַקוום וישאַלט סיסטעמען זיין דיזיינד ווי איין אינטעגרירט טערמיש סיסטעם אַנשטאָט זעלבשטענדיקע קאָמפּאָנענטן.

At HL קריאָגעניקס, מיר אַרבעטן מיט EPC קאָנטראַקטאָרן, גאַז קאָמפּאַניעס, און האַלב-קאָנדוקטאָר פאַסילאַטיז צו אַנטוויקלען קריאָגעניק אַריבערפירן לייזונגען באַזירט אויף פאַקטישע אָפּערייטינג באדינגונגען, טערמישע לאָוד צילן, און ינסטאַלירונג רעקווירעמענץ אלא ווי נאָרמאַל קאַטאַלאָג קאָנפיגוראַציעס.

אויב איר פּלאַנירט אַ נייעם האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריק פּראָיעקט אָדער אַפּגרעידט אַן עקזיסטירנדיק LN₂ פאַרשפּרייטונג נעץ, קען אונדזער אינזשעניריע מאַנשאַפֿט העלפֿן אָפּשאַצן היץ ליק פאָרשטעלונג, וואַקוום סטראַטעגיע און סיסטעם קאָנפיגוראַציע פֿאַר לאַנג-טערמין אָפּעראַציע.