מאָלעקולאַר שטראַל עפּיטאַקסי און פליסיק ניטראָגען סערקיאַליישאַן סיסטעם אין סעמיקאַנדאַקטער און טשיפּ ינדאַסטרי

קורץ פון מאָלעקולאַר שטראַל עפּיטאַקסי (MBE)

די טעכנאָלאָגיע פון ​​מאָלעקולאַר שטראַל עפּיטאַקסי (MBE) איז דעוועלאָפּעד אין די 1950 ס צו צוגרייטן סעמיקאַנדאַקטער דין פילם מאַטעריאַלס ניצן וואַקוום יוואַפּעריישאַן טעכנאָלאָגיע. מיט דער אַנטוויקלונג פון הינטער-הויך וואַקוום טעכנאָלאָגיע, די אַפּלאַקיישאַן פון טעכנאָלאָגיע איז עקסטענדעד צו די פעלד פון סעמיקאַנדאַקטער וויסנשאַפֿט.

די מאָוטאַוויישאַן פון סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס פאָרשונג איז די פאָדערונג פֿאַר נייַע דעוויסעס, וואָס קען פֿאַרבעסערן די פאָרשטעלונג פון די סיסטעם. אין קער, נייַ מאַטעריאַל טעכנאָלאָגיע קען פּראָדוצירן נייַ ויסריכט און נייַע טעכנאָלאָגיע. מאָלעקולאַר שטראַל עפּיטאַקסי (MBE) איז אַ הויך וואַקוום טעכנאָלאָגיע פֿאַר עפּיטאַקסיאַל שיכטע (יוזשאַוואַלי סעמיקאַנדאַקטער) וווּקס. עס ניצט די היץ שטראַל פון מקור אַטאָמס אָדער מאַלאַקיולז ימפּאַקטינג איין קריסטאַל סאַבסטרייט. די הינטער-הויך וואַקוום קעראַקטעריסטיקס פון דעם פּראָצעס לאָזן אין-סיטו מעטאַליזאַטיאָן און וווּקס פון ינסאַלייטינג מאַטעריאַלס אויף ניי-דערוואַקסן סעמיקאַנדאַקטער סערפאַסיז, ​​​​ריזאַלטינג אין פאַרפּעסטיקונג-פריי ינטערפייסיז.

נייַעס bg (4)
נייַעס bg (3)

MBE טעכנאָלאָגיע

די מאָלעקולאַר שטראַל עפּיטאַקסי איז געפירט אויס אין אַ הויך וואַקוום אָדער הינטער-הויך וואַקוום (1 ​​קס 10)-8פּאַ) סוויווע. די מערסט וויכטיק אַספּעקט פון מאָלעקולאַר שטראַל עפּיטאַקסי איז זייַן נידעריק דעפּאַזישאַן קורס, וואָס יוזשאַוואַלי אַלאַוז די פילם צו עפּיטאַקסיאַל וואַקסן אין אַ קורס פון ווייניקער ווי 3000 נם פּער שעה. אַזאַ אַ נידעריק דעפּאַזישאַן קורס ריקווייערז אַ הויך גענוג וואַקוום צו דערגרייכן די זעלבע מדרגה פון ריינקייַט ווי אנדערע דעפּאַזישאַן מעטהאָדס.

צו טרעפן די הינטער-הויך וואַקוום דיסקרייבד אויבן, די MBE מיטל (Knudsen צעל) האט אַ קאָאָלינג שיכטע, און די הינטער-הויך וואַקוום סוויווע פון ​​די גראָוט קאַמער מוזן זיין מיינטיינד מיט אַ פליסיק ניטראָגען סערקיאַליישאַן סיסטעם. פליסיק ניטראָגען קולז די ינערלעך טעמפּעראַטור פון די מיטל צו 77 קעלווין (-196 °C). די נידעריק טעמפּעראַטור סוויווע קענען ווייַטער רעדוצירן די אינהאַלט פון ימפּיוראַטיז אין וואַקוום און צושטעלן בעסער טנאָים פֿאַר די דעפּאַזישאַן פון דין פילמס. דעריבער, אַ דעדאַקייטאַד פליסיק ניטראָגען קאָאָלינג סערקיאַליישאַן סיסטעם איז פארלאנגט פֿאַר די MBE ויסריכט צו צושטעלן אַ קעסיידערדיק און פעסט צושטעלן פון -196 °C פליסיק ניטראָגען.

פליסיק ניטראָגען קאָאָלינג סירקולאַטיאָן סיסטעם

וואַקוום פליסיק ניטראָגען קאָאָלינג סערקיאַליישאַן סיסטעם דער הויפּט כולל,

● קריאָגעניק טאַנק

● הויפּט און צווייַג וואַקוום דזשאַקיטיד רער / וואַקוום דזשאַקיטיד קישקע

● מבע ספּעציעל פאַסע סעפּאַראַטאָר און וואַקוום דזשאַקיטיד ויסמאַטערן רער

● פאַרשידן וואַקוום דזשאַקיטיד וואַלווז

● גאַז-פליסיק שלאַבאַן

● וואַקוום דזשאַקיטיד פילטער

● דינאַמיש וואַקוום פּאָמפּע סיסטעם

● פּרעקאָאָלינג און רייניקונג רעהעאַטינג סיסטעם

HL Cryogenic Equipment Company האט באמערקט די פאָדערונג פון MBE פליסיק ניטראָגען קאָאָלינג סיסטעם, אָרגאַניזירט טעכניש באַקבאָון צו הצלחה אַנטוויקלען אַ ספּעציעל MBE פליסיק ניטראָגען קאָאָאָינג סיסטעם פֿאַר MBE טעכנאָלאָגיע און אַ גאַנץ גאַנג פון וואַקוום ינסולאַט.edפּייפּינג סיסטעם, וואָס איז געניצט אין פילע ענטערפּריסעס, אוניווערסיטעטן און פאָרשונג אינסטיטוציעס.

נייַעס bg (1)
נייַעס bg (2)

הל קריאָגעניק עקוויפּמענט

HL Cryogenic Equipment וואָס איז געגרינדעט אין 1992 איז אַ סאָרט אַפיליייטאַד צו Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company אין טשיינאַ. HL Cryogenic Equipment איז קאַמיטאַד צו די פּלאַן און פּראָדוצירן פון די הויך וואַקוום ינסאַלייטיד קריאָגעניק פּייפּינג סיסטעם און פֿאַרבונדענע שטיצן ויסריכט.

פֿאַר מער אינפֿאָרמאַציע, ביטע באַזוכן די באַאַמטער וועבזייטלwww.hlcryo.com, אָדער בליצפּאָסט צוinfo@cdholy.com.


פּאָסטן צייט: מאי 06-2021

לאָזן דיין אָנזאָג