די מאָלעקולאַר שטראַל עפּיטאַקסי איז געווען געפירט אויס אין אַ הויך וואַקוום אָדער הינטער-הויך וואַקוום (1 ​​X 10^-8פּאַ) סוויווע. די מערסט וויכטיק אַספּעקט פון מאָלעקולאַר שטראַל עפּיטאַקסי איז די נידעריק דעפּאַזישאַן קורס, וואָס יוזשאַוואַלי אַלאַוז די פילם צו עפּיטאַקסיאַל וואַקסן אין אַ קורס פון ווייניקער ווי 3000 נם פּער שעה. אַזאַ אַ נידעריק דעפּאַזישאַן קורס ריקווייערז אַ הויך וואַקוום צו דערגרייכן די אַלגעמיינע ריינקייַט פון ריינקייַט ווי אנדערע דיפּאַזישאַן מעטהאָדס.

צו טרעפן די הינטער-הויך וואַקוום דיסקרייבד אויבן, די MBE מיטל (Knudsen Card) האט אַ קאָאָלינג שיכטע און די הינטער-הויך וואַקוום סוויווע פון ​​דעם וווּקס קאַמערקי סוויווע מוזן זיין מיינטיינד מיט אַ פליסיק ניטראָגען סערקיאַליישאַן סיסטעם. פליסיק ניטראָגען קולז די ינערלעך טעמפּעראַטור פון די מיטל צו 77 Kelvin (-196 ° C). די נידעריק טעמפּעראַטור סוויווע קענען דורכגיין די אינהאַלט פון ימפּיוראַטיז אין וואַקוום און צושטעלן בעסער טנאָים פֿאַר די דעפּאַזישאַן פון דין פילמס. דעריבער, אַ דעדאַקייטאַד פליסיק ניטראָגען קאָאָלינג סערקיאַליישאַן סיסטעם איז פארלאנגט פֿאַר די מבע עקוויפּמענט צו צושטעלן אַ קעסיידערדיק און פעסט צושטעלן פון -196 ° C פליסיק ניטראָגען.